快科技6月8日音讯，针对外界称台积电因保守不肯投资下一代光刻设立的传言，台积电董事长魏哲家近日在鼓励大会上躬行辟谣，默示有买High-NAEUV光刻机，且正勤奋研发，但基于资本考量，现阶段暂不干涉量产。

这台ASML研发的最新High-NAEUV光刻机，每台单价高达3.8亿至4亿好意思元，是刻下主流EUV设立的两倍多。魏哲家坦言，设立太贵是暂不量产的主因。

台积电的战术是先用好手里现存的EUV设立。魏哲家强调，现存光刻机搭配多重图案化期间，欢乐炸三张金花游戏app中国官方最新版仍足以撑握先进制程的微缩需求，台积电有底气等High-NAEUV的经济账算得更合算时再脱手。

台积电早在2024年9月就汲取了首台High-NAEUV光刻机，并安置在研发中心用于拓荒下一代工艺的基础光刻期间。魏哲家合计，提前启动研发准备，智商确保明天投产时达到可靠良率与产出恶果。

不外他坦言，要把这台4亿好意思元的设立委果用起来，还需再等等。英特尔等竞争者早已将High-NAEUV提上量产日程，而台积电选拔先研发、后投产更稳健的阶梯，允洽其一贯的资本步骤。

魏哲家瞻望，High-NAEUV将在委果需要单次曝光收场更轻捷线宽且晶圆资本启动具备竞争力的时刻点，当然进入坐褥体系。

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